上海盛剑半导体科技有限公司张伟明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海盛剑半导体科技有限公司申请的专利一种废气处理装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223726369U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423321255.6，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种废气处理装置及半导体设备是由张伟明;任帅康设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种废气处理装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种废气处理装置及半导体设备，涉及废气处理技术领域。该废气处理装置包括：等离子火炬，包括底板及设于底板上的火炬主体，底板具有水冷流道；底板测温件，用于检测底板的温度；水冷模块，与水冷流道连通，用于根据底板测温件的检测结果调节输入水冷流道的冷却剂流量。本实用新型提供的废气处理装置能够精确监测等离子火炬的燃烧情况，提升等离子火炬的使用寿命，具有更高的安全性。
本实用新型一种废气处理装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种废气处理装置，其特征在于，包括： 等离子火炬110，包括底板111及设于所述底板111上的火炬主体112，所述底板111具有水冷流道； 底板测温件120，用于检测所述底板111的温度； 水冷模块，与所述水冷流道连通，用于根据所述底板测温件120的检测结果调节输入所述水冷流道的冷却剂流量。
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