安徽筠天自动化有限公司段贵晨获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉安徽筠天自动化有限公司申请的专利一种半导体工艺设备供气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223726112U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520516666.6，技术领域涉及：F17D5/06；该实用新型一种半导体工艺设备供气装置是由段贵晨;杨青山;徐继光设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺设备供气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体工艺设备供气装置，属于半导体工艺技术领域，包括供气管和输气管，所述供气管和输气管连接处设置有法兰，所述供气管和输气管连接处外侧固定套接有套筒，且套筒圆周顶端中间固定安装有固定台。本实用新型中通过套筒位于供气管和输送管连接处的外侧，若供气管和输送管连接处有气体泄漏，首先压力传感器就能监测到套筒内部压力发生变化而使声光警报器发出警报，同时惰性气体传感器也能监测到有惰性气体而使声光警报器发出警报，双重监测和判断供气管和输送管连接处是否有气体泄漏，并且两个隔离件和多个回弹复位杆有效抑制泄漏气体的扩散，将泄漏气体有效控制在套筒内部，减少气体泄漏对操作人员的安全隐患。
本实用新型一种半导体工艺设备供气装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备供气装置，包括供气管1和输气管2，所述供气管1和输气管2连接处设置有法兰3，其特征在于，所述供气管1和输气管2连接处外侧固定套接有套筒4，且套筒4圆周顶端中间固定安装有固定台6，所述固定台6顶端中间固定安装有控制器7，固定台6两端外壁的中间固定安装有声光警报器8，固定台6顶端两侧分别固定安装有惰性气体传感器9和压力传感器10，且压力传感器10顶端固定安装有压力表11，所述供气管1圆周和输气管2圆周均滑动套接有隔离件12，且两个隔离件12均位于套筒4内部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽筠天自动化有限公司，其通讯地址为：239300 安徽省滁州市天长市安徽经济开发区经三路东天滁路北；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励