合肥皓宇芯光科技有限公司薛健健获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥皓宇芯光科技有限公司申请的专利一种极紫外光发生舱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223725891U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160897.8，技术领域涉及：F16M11/04；该实用新型一种极紫外光发生舱是由薛健健;陈凯旋;金谷雨;李成平;崔绍龙;王坤;杨皓设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种极紫外光发生舱在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种极紫外光发生舱，包括：舱室壳体，舱室壳体内设置真空腔室，真空腔室内设置固定座，固定座侧壁安装有螺纹套，固定座上设置电离台，舱室壳体连接位移调节器，位移调节器包括螺纹杆，螺纹杆外套设有螺纹套，且螺纹杆端部的滚珠与电离台抵接，电离台侧壁与固定座侧壁之间设置若干弹簧，弹簧用于对电离台施加牵拉力。本实用新型中，对电离台进行位置调节时，螺纹杆转动，再配合螺纹套，使螺纹杆端部的滚珠推动电离台，电离台发生位移，在电离台位移期间，弹簧对电离台时刻具备牵拉作用，在牵拉作用下螺纹杆与螺纹套之间的螺纹配合更加紧密，解决调节过程中螺纹杆与螺纹套之间产生的相对晃动，提高了电离台的调节精度。
本实用新型一种极紫外光发生舱在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光发生舱，设置于极紫外光发生器内，其特征在于，包括：舱室壳体1，所述舱室壳体1内设置真空腔室11，所述真空腔室11内设置固定座2，所述固定座2侧壁安装有螺纹套21，所述固定座2上设置电离台3； 所述舱室壳体1连接位移调节器4，所述位移调节器4包括螺纹杆41，所述螺纹杆41外套设有所述螺纹套21，且所述螺纹杆41端部的滚珠与所述电离台3抵接； 所述电离台3侧壁与所述固定座2侧壁之间设置若干弹簧5，所述弹簧5用于对所述电离台3施加牵拉力。
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