晶丰芯驰(上海)半导体科技有限公司;宁波晶丰芯驰半导体材料有限公司;嘉兴晶丰芯驰半导体材料有限公司费磊获国家专利权
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龙图腾网获悉晶丰芯驰(上海)半导体科技有限公司;宁波晶丰芯驰半导体材料有限公司;嘉兴晶丰芯驰半导体材料有限公司申请的专利一种复合衬底、外延结构及器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723284U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422874827.7,技术领域涉及:C30B25/20;该实用新型一种复合衬底、外延结构及器件是由费磊;姚力军;郭付成;边逸军;左万胜设计研发完成,并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合衬底、外延结构及器件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种复合衬底、外延结构及器件,具体涉及功率器件领域,所述复合衬底包括:依次设置的多晶SiC层、第一4H‑SiC层、3C‑SiC层和第二4H‑SiC层。本本实用新型提供的复合衬底,通过采用特定设计的结构,在3C‑SiC层和4H‑SiC层的连接界面形成量子阱,让层错扩展至连接界面,从而避免层错扩展至单晶层,甚至外延层,从而提升耐压性能,同时所得复合衬底具有较低表面自由能,能够防止薄单晶层刻穿。
本实用新型一种复合衬底、外延结构及器件在权利要求书中公布了:1.一种复合衬底,其特征在于,所述复合衬底包括:依次设置的多晶SiC层、第一4H-SiC层、3C-SiC层和第二4H-SiC层; 所述多晶SiC层的厚度均分别>第一4H-SiC层、3C-SiC层和第二4H-SiC层的厚度; 所述多晶SiC层的厚度为330-370μm; 所述第一4H-SiC层的厚度为0.3-0.7μm; 所述3C-SiC层的厚度为0.3-0.7μm; 所述第二4H-SiC层的厚度为0.3-0.7μm。
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