江苏中科晶元信息材料有限公司许子俊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中科晶元信息材料有限公司申请的专利一种砷化镓晶圆用除氧托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223723283U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520212049.7，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种砷化镓晶圆用除氧托盘是由许子俊;马曾增;袁许飞设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砷化镓晶圆用除氧托盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种砷化镓晶圆用除氧托盘，具体涉及晶圆技术领域，包括用于砷化镓晶圆除氧的底座，所述底座的顶面中部开设有放置槽，以放置砷化镓晶圆，所述底座的外表面固定安装有导向环，所述导向环的外表面滑动连接有多个活动杆。本实用新型所述的一种砷化镓晶圆用除氧托盘，在实际工作中，根据砷化镓晶圆的直径尺寸，对多个活动杆进行移动，以对多个限位板的位置进行调节，并通过将第一螺纹紧固件插入重合后的固定孔与调节孔内，以将活动杆固定，将砷化镓晶圆放置于放置槽内，通过第二螺纹紧固件将盖板与底座进行连接，而盖板内部的压板能够避免砷化镓晶圆从放置槽内脱落，从而便于对不同直径尺寸的砷化镓晶圆进行安装，扩大适用范围。
本实用新型一种砷化镓晶圆用除氧托盘在权利要求书中公布了：1.一种砷化镓晶圆用除氧托盘，包括用于砷化镓晶圆除氧的底座1，其特征在于：所述底座1的顶面中部开设有放置槽101，以放置砷化镓晶圆，所述底座1的外表面固定安装有导向环2，所述导向环2的外表面滑动连接有多个活动杆102，且活动杆102的一端延伸至放置槽101内部，所述放置槽101的内部滑动连接有多个限位板103，且多个限位板103与多个活动杆102一一对应，所述活动杆102延伸至放置槽101内部的一端与限位板103固定连接； 所述活动杆102的顶面开设有多个调节孔104，所述导向环2的外顶面开设有多个固定孔106，且多个固定孔106与多个活动杆102一一对应，所述固定孔106的顶面设有第一螺纹紧固件105，所述底座1的顶面设有盖板3。
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