国芯半导体(仪征)有限公司张毅获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种具有改善毛边功能的半导体外延片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223723282U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520162511.7，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种具有改善毛边功能的半导体外延片装置是由张毅;束朝磊设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有改善毛边功能的半导体外延片装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶片生产技术领域，具体为一种具有改善毛边功能的半导体外延片装置，包括反应室，所述反应室的顶部设有密封盖，所述密封盖的中部插接有气管，所述反应室的内部安装有石墨盘，所述石墨盘的上表面设有装配组件，所述石墨盘的下表面设有驱动组件，所述反应室的内壁内嵌有加热管，改良后的半导体外延片装置，通过螺旋缠绕的加热管均匀地分布热量，驱动组件带圆盘旋转，使晶体均匀地接触加热源，晶体表面薄膜生长速率保持一致，避免产生不规则的毛边，通过磁力的吸引，左夹板和右夹板相互靠拢，可根据不同规格的晶体规格灵活调整，将中间的晶体夹持固定，固定后的晶体不会发生位移，薄膜生长更加均匀。
本实用新型一种具有改善毛边功能的半导体外延片装置在权利要求书中公布了：1.一种具有改善毛边功能的半导体外延片装置，包括反应室1，其特征在于：所述反应室1的顶部设有密封盖2，所述密封盖2的两端插接有气管3，所述反应室1的内部安装有石墨盘4，所述石墨盘4的上表面设有装配组件5，所述石墨盘4的下表面设有驱动组件6，所述反应室1的内壁内嵌有加热管7，所述石墨盘4的表面铺设有铜线8； 所述装配组件5包括圆盘501，所述圆盘501的内部滑动连接有左夹板502和右夹板503，所述左夹板502和右夹板503的下表面中设有X支架504； 所述驱动组件6包括小齿轮601，所述小齿轮601的一侧啮合有大齿轮602，所述大齿轮602的底部安装有驱动电机603的输出轴。
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