山东晶升电子科技有限公司刘树良获国家专利权
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龙图腾网获悉山东晶升电子科技有限公司申请的专利氮化镓衬底移动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223723280U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423248595.0，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型氮化镓衬底移动机构是由刘树良;乔晓杰设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本氮化镓衬底移动机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶体生长技术领域，特别公开了一种氮化镓衬底移动机构。该氮化镓衬底移动机构，包括下移动平台，端面法兰和减速机B分别架设在下移动平台上，其特征在于：所述下移动平台上安装有呈行走轨道的丝杠，丝杠一端连接伺服电机A；丝杠上安装有架设端面法兰的法兰支撑座和架设减速机B的减速机支撑座，端面法兰一侧动密封连接旋转轴，另一侧固定连接石墨衬底杆，旋转轴通过联轴器连接减速机B，减速机B安装在旋转伺服电机B的输出轴上。本实用新型通过水平移动机构和自转机构的配合作用，可以实现氮化镓晶体设备的石墨衬底杆的移动及自转，采用端面动密封方式实现移动及自转，结构简单、维护方便，生产精度高，使用寿命长。
本实用新型氮化镓衬底移动机构在权利要求书中公布了：1.一种氮化镓衬底移动机构，包括下移动平台1，端面法兰2和减速机B3分别架设在下移动平台1上，其特征在于：所述下移动平台1上安装有呈行走轨道的丝杠4，丝杠4一端连接伺服电机A5；丝杠4上安装有架设端面法兰2的法兰支撑座6和架设减速机B3的减速机支撑座7，端面法兰2一侧动密封连接旋转轴8，另一侧固定连接石墨衬底杆9，旋转轴8通过联轴器10连接减速机B3，减速机B3安装在旋转伺服电机B11的输出轴上。
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