固安翌光科技有限公司高子豪获国家专利权
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龙图腾网获悉固安翌光科技有限公司申请的专利药液槽降温系统及湿法刻蚀机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520157487.8,技术领域涉及:C23F1/08;该实用新型药液槽降温系统及湿法刻蚀机是由高子豪;张明福;胡建平;王跃新;陈旭;胡永岚设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本药液槽降温系统及湿法刻蚀机在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种药液槽降温系统及湿法刻蚀机,属于刻蚀技术领域,药液槽降温系统包括:冷却循环组件,设于药液槽的外部,具有出液口和进液口;以及冷却管路组件,设于药液槽的内部,包括循环管路、若干个主动扇叶和若干个从动扇叶;循环管路一端与出液口连通,循环管路另一端与进液口连通,主动扇叶位于循环管路的内部,从动扇叶位于循环管路的外部,主动扇叶与从动扇叶同轴连接;当冷却液在冷却循环组件及循环管路中往复循环流动时,带动主动扇叶转动,主动扇叶带动从动扇叶一同转动。从动扇叶的转动使得药液槽内的药液进行充分的循环流动,增加了药液的降温均匀性和降温速度,提升了温度置换效率,减少了降温等待时间,加快了生产线运转速度。
本实用新型药液槽降温系统及湿法刻蚀机在权利要求书中公布了:1.一种药液槽降温系统,其特征在于,包括: 冷却循环组件10,被配置为设于药液槽2的外部,具有出液口111和进液口112;以及 冷却管路组件20,被配置为设于药液槽2的内部,包括循环管路21、若干个主动扇叶22和若干个从动扇叶23; 其中,所述循环管路21一端与所述出液口111连通,所述循环管路21另一端与所述进液口112连通,所述主动扇叶22位于所述循环管路21的内部,所述从动扇叶23位于所述循环管路21的外部,所述主动扇叶22与所述从动扇叶23同轴连接; 当冷却液在所述冷却循环组件10及所述循环管路21中往复循环流动时,带动所述主动扇叶22转动,所述主动扇叶22带动所述从动扇叶23一同转动。
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