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拉普拉斯新能源科技股份有限公司梁笑获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利隔热装置和热炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723215U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423283041.4,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型隔热装置和热炉是由梁笑;张武;黄期龙设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

隔热装置和热炉在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体工艺技术领域,公开了一种隔热装置和热炉。隔热装置包括隔热件和匀流件,支撑桨的端部连接有炉门,炉门用于封闭炉管的炉口,隔热件和匀流件设置于支撑桨的接近于炉门的端部,隔热件较匀流件接近于炉门设置。该隔热装置设置于舟和炉管的炉口之间,匀流件沿炉管的轴线方向贯穿设置有通气结构,气流能够通过通气结构穿过匀流件,从而使得匀流件能够引导和调整气流流向,尤其是位于舟和炉口之间的气流流向,减少炉管内上部的气流堆积,防止出现该区域内气量过高、影响成膜质量的现象,能够有利于提高成膜的片内均匀性和整管均匀性,以较低的成本改善炉口首舟迎气面的上方的白边缺陷。

本实用新型隔热装置和热炉在权利要求书中公布了:1.隔热装置,设置于支撑桨上,所述支撑桨的端部连接有炉门,所述炉门用于封闭炉管的炉口,其特征在于,所述隔热装置包括隔热件和匀流件,所述隔热件和所述匀流件设置于所述支撑桨的接近于所述炉门的端部,所述隔热件较所述匀流件接近于所述炉门设置,所述匀流件沿所述炉管的轴线方向贯穿设置有通气结构,气流能够通过所述通气结构穿过所述匀流件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯新能源科技股份有限公司,其通讯地址为:518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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