宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种溅射靶材除锈用夹具及安装结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723210U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520160888.9,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种溅射靶材除锈用夹具及安装结构是由姚力军;吴陈禹;于江花;时晓旭;郑如军设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射靶材除锈用夹具及安装结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种溅射靶材除锈用夹具及安装结构,所述溅射靶材除锈用夹具包括:夹具主体,和设置在夹具主体底部的旋转机构;所述夹具主体包括基体,所述基体上设置相对的支撑块;所述支撑块沿基体的外沿设置,所述支撑块之间形成中空结构,所述支撑块的相邻端部与基体形成凹槽结构;所述支撑块的顶面设置等间距的凸起,所述凸起与溅射靶材的沉孔相匹配。本实用新型提供的夹具,实现靶材圆周旋转,确保加工平面度,排除硬性接触造成的损伤,便于靶材夹取移动,通过凸起与沉孔配合完成靶材固定,避免常规夹持方式造成划痕并使加工平面充分暴露。夹具主体的结构简单,可操作性及可加工性好,便于针对不同靶材规格进行适配。
本实用新型一种溅射靶材除锈用夹具及安装结构在权利要求书中公布了:1.一种溅射靶材除锈用夹具,其特征在于,所述溅射靶材除锈用夹具包括: 夹具主体,和设置在夹具主体底部的旋转机构; 所述夹具主体包括基体,所述基体上设置相对的支撑块; 所述支撑块沿基体的外沿设置,所述支撑块之间形成中空结构,所述支撑块的相邻端部与基体形成凹槽结构; 所述支撑块的顶面设置等间距的凸起,所述凸起与溅射靶材的沉孔相匹配。
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