咸阳彩虹光电科技有限公司雒振获国家专利权
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龙图腾网获悉咸阳彩虹光电科技有限公司申请的专利一种物理气相沉积设备的Tray Mask结构及组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423172694.5,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种物理气相沉积设备的Tray Mask结构及组件是由雒振;吴吉祥设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物理气相沉积设备的Tray Mask结构及组件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种物理气相沉积设备的TrayMask结构及组件,TrayMask结构包括:主体和边条;所述边条设置在所述主体的外侧,且所述边条上开设有若干个避让结构;所述避让结构的位置与外部干涉结构的位置对应,且所述避让结构和所述外部干涉结构凹凸配合。本实用新型通过在边条上开设避让结构,使得Tray移动到最左端或最右端时,避让结构能够和外部干涉结构凹凸配合,外部干涉结构进入避让结构处,能够避免边条和外部干涉结构碰撞,确保成膜质量。
本实用新型一种物理气相沉积设备的Tray Mask结构及组件在权利要求书中公布了:1.一种物理气相沉积设备的TrayMask结构,其特征在于,包括:主体1和边条2; 所述边条2设置在所述主体1的外侧,且所述边条2上开设有若干个避让结构21; 所述避让结构21的位置与外部干涉结构的位置对应,且所述避让结构21和所述外部干涉结构凹凸配合。
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