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通威太阳能(成都)有限公司朱勇获国家专利权

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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723204U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520203665.6,技术领域涉及:C23C14/46;该实用新型镀膜设备是由朱勇;胡逾超;张一峰;李雪松;吴斌;侯德圣;王梁设计研发完成,并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种镀膜设备,该镀膜设备在镀膜腔室内设置可转动的转盘,并在转盘上设置多个用于容置靶材的容置结构,并设置顶升机构用于将靶材顶升至与第一通孔对应的位置,使离子束能够照射到目标靶材上。不同容置结构中的靶材可以被设置为不同的靶材,如此,当需要更换镀膜用的靶材时,只需要转动转盘并将目标靶材顶升至与第一通孔对应的位置即可,不需要在镀膜腔室破真空后更换靶材,也不需要等到靶材耗尽后再填补新的靶材,也即,能够在镀膜腔室保持真空状态的情况下,更换靶材的类型,实现不同靶材的真空镀膜,减少换料耗时,提高生产效率。

本实用新型镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,其特征在于,包括: 镀膜箱,所述镀膜箱具有镀膜腔室,所述镀膜箱设置有连通于所述镀膜腔室的第一通孔; 转盘,所述转盘可转动地设置于所述镀膜腔室中,所述转盘上设置有多个容置结构,各所述容置结构均用于容置靶材; 离子发射装置,所述离子发射装置设置于所述镀膜箱,所述离子发射装置通过所述第一通孔向所述镀膜腔室内发射离子束;以及 顶升机构,所述顶升机构设置于所述镀膜箱,所述顶升机构至少部分可伸入所述容置结构中,以驱使所述靶材脱离所述容置结构并移动至对应于所述第一通孔的位置,以使所述离子发射装置向所述靶材发射所述离子束。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威太阳能(成都)有限公司,其通讯地址为:610000 四川省成都市高新综合保税区双流园区综保横路一段;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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