宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种靶材结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223723203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520159470.6,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种靶材结构是由姚力军;袁锦泽;陈玉蓉;龚祖光设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种靶材结构。所述靶材结构包括层叠设置的靶坯和基板;所述靶坯沿厚度方向分为第一层靶坯和第二层靶坯,所述第二层靶坯与所述基板相接;所述第一层靶坯远离所述第二层靶坯的表面边缘设为斜面;所述第二层靶坯的侧面与底面垂直;所述斜面的低端边缘与所述第二层靶坯的侧面上边缘通过圆倒角过渡连接。本实用新型限定第二层靶坯的侧面与底面垂直,从而避免了靶坯最外侧边缘处出现尖角,进而能够避免靶坯最外侧边缘发生崩角和掉渣情况。
本实用新型一种靶材结构在权利要求书中公布了:1.一种靶材结构,其特征在于,所述靶材结构包括层叠设置的靶坯和基板; 所述靶坯沿厚度方向分为第一层靶坯和第二层靶坯,所述第二层靶坯与所述基板相接; 所述第一层靶坯远离所述第二层靶坯的表面边缘设为斜面;所述第二层靶坯的侧面与底面垂直;所述斜面的低端边缘与所述第二层靶坯的侧面上边缘通过圆倒角过渡连接。
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