嘉兴市筠禾电子有限公司孟友均获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴市筠禾电子有限公司申请的专利一种用于芯片的镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223723202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422602061.7，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型一种用于芯片的镀膜设备是由孟友均设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于芯片的镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于芯片的镀膜设备，涉及芯片加工领域，包括装置外壳，所述装置外壳设置成中空结构，所述装置外壳内设置有支撑板，所述支撑板底部设置有坩埚结构，所述坩埚结构包括若干高温坩埚，所述若干高温坩埚呈一定角度均匀设置，所述支撑板上配合坩埚结构设置有开口。本实用新型通过隔板配合隔断板对装置外壳内的空间配合高温坩埚分隔成若干个空间，之后通过对坩埚进行上下控制，配合上顶部芯片安置结构，同时对多个芯片进行镀膜操作，实现高效的芯片镀膜，同时通过这样的设置，在镀膜完成后，更换新的芯片进行镀膜，也可通过转动高温坩埚位置进行，让靶材对不同的芯片进行镀膜操作，镀膜操作更加灵活。
本实用新型一种用于芯片的镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种用于芯片的镀膜设备，包括装置外壳1，其特征在于：所述装置外壳1设置成中空结构，所述装置外壳1内设置有支撑板14，所述支撑板14底部设置有坩埚结构，所述坩埚结构包括若干高温坩埚15，所述若干高温坩埚15呈一定角度均匀设置，所述支撑板14上配合坩埚结构设置有开口，所述支撑板14配合高温坩埚15设置有隔断板11，所述隔断板11根据高温坩埚15数量设置有若干块，所述支撑板14上配合隔断板11设置有限位罩12，所述限位罩12配合隔断板11形成若干个空间，配合高温坩埚15设置，所述高温坩埚15上开设有放置口21，所述放置口21内活动设置有靶材容器13，所述若干高温坩埚15底部配合若干高温坩埚15设置有若干支撑底盘17，所述支撑底盘17底部设置有第二传动轴19，所述第二传动轴19延伸至装置外壳1外，所述装置外壳1外配合第二传动轴19设置有第三电机18。
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