蒙锐(上海)光电科技有限公司高璐获国家专利权
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龙图腾网获悉蒙锐(上海)光电科技有限公司申请的专利一种碳化硅晶圆无尘存放装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223721548U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520011176.0,技术领域涉及:B65D25/24;该实用新型一种碳化硅晶圆无尘存放装置是由高璐;张汇东;张九福;张细香设计研发完成,并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶圆无尘存放装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅晶圆无尘存放装置,包括壳体,所述壳体内底部设有转盘,所述转盘上方与底座固定连接,所述底座上端开设有多个矩阵排布的定位槽,所述底座上方中部插接有轴杆,所述壳体上端位于轴杆一侧设有活动板,所述活动板中部开设有通槽,所述通槽内两侧均设有刷毛,所述活动板远离轴杆一侧中部设有卡块,所述壳体上设有与卡块相匹配的卡槽,所述壳体位于活动板上方设有盖板,所述壳体靠近活动板一侧上端设有连接管。该种存放装置,结构简单,对圆晶防护效果好,圆晶便于进行取放,有效的避免了圆晶存放过程中灰尘进入到存放装置内部的现象发生,有效的保证了圆晶后续加工的流畅性。
本实用新型一种碳化硅晶圆无尘存放装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶圆无尘存放装置,包括壳体1,其特征在于,所述壳体1内底部设有转盘2,所述转盘2上方与底座3固定连接,所述底座3上端开设有多个呈辐射状矩阵排布的定位槽4,所述底座3上方中部插接有轴杆5,所述壳体1上端位于轴杆5一侧设有活动板6,所述活动板6中部开设有通槽7,所述通槽7内两侧均设有刷毛8,所述活动板6远离轴杆5一侧中部设有卡块9,所述壳体1上设有与卡块9相匹配的卡槽10,所述壳体1位于活动板6上方设有盖板11,所述壳体1靠近活动板6一侧上端设有连接管15,所述连接管15位于壳体1内一端延伸至活动板6下方。
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