烟台齐新半导体技术研究院有限公司王颖获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利一种化学抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223719212U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520011557.9，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种化学抛光装置是由王颖设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学抛光装置，涉及抛光技术领域。化学抛光装置包括支撑件、抛光旋转驱动装置和固定工装；抛光旋转驱动装置的输出端连接固定工装，抛光旋转驱动装置可带动固定工装旋转运动，固定工装用于安装工件；抛光旋转驱动装置可上下翻转地设于支撑件上，并带动固定工装上下翻转。此种化学抛光装置，在化学抛光过程中，可通过抛光旋转驱动装置自动进行工件的运动，增强了化学抛光过程中的一致性，降低抛光过程中不受抛光垫磨损状态等影响发生异常卡顿的概率，固定工装与化学抛光盘之间的位置关系也便于统一调节并保持，可以提高抛光质量与效率。
本实用新型一种化学抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种化学抛光装置，其特征在于，包括支撑件1、抛光旋转驱动装置2和固定工装3；所述抛光旋转驱动装置2的输出端连接所述固定工装3，所述抛光旋转驱动装置2可带动所述固定工装3旋转运动，所述固定工装3用于安装工件4；所述抛光旋转驱动装置2可上下翻转地设于所述支撑件1上，并带动所述固定工装3上下翻转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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