海宁星盛半导体有限公司谷兵获国家专利权
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龙图腾网获悉海宁星盛半导体有限公司申请的专利一种划片机新型水幕加湿装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223719180U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520162798.3，技术领域涉及：B24B27/06；该实用新型一种划片机新型水幕加湿装置是由谷兵;季京杰设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种划片机新型水幕加湿装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及划片机技术领域，公开了一种划片机新型水幕加湿装置，包括喷水臂，所述喷水臂内部设有流道、一侧侧面设有若干与流道连通的喷水孔，所述喷水臂两端均固定连接有滑移块，所述滑移块上穿设有导柱，所述导柱远离滑移块的一端固定连接有一固定板；所述喷水臂两端的导柱的末端固定连接于同一固定板；所述滑移块上设有用于锁定滑移块和导柱相对位置的锁定机构。本实用新型的划片机新型水幕加湿装置可灵活调整喷水臂与晶圆间距，能适应对不同大小晶圆的清洗；优选方案中，可灵活控制各区域喷水孔的喷液，可灵活调控对晶圆的清洗程序。
本实用新型一种划片机新型水幕加湿装置在权利要求书中公布了：1.一种划片机新型水幕加湿装置，包括喷水臂1，所述喷水臂1内部设有流道、一侧侧面设有若干与流道连通的喷水孔4，其特征在于：所述喷水臂1两端均固定连接有滑移块5，所述滑移块5上穿设有导柱6，所述导柱6远离滑移块5的一端固定连接有一固定板7；所述喷水臂1两端的导柱6的末端固定连接于同一固定板7；所述滑移块5上设有用于锁定滑移块5和导柱6相对位置的锁定机构。
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