厦门理工学院刘伟平获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门理工学院申请的专利一种基于液态金属电磁微喷的导线磁场与自热一体化装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223718317U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520042129.2,技术领域涉及:B22F12/13;该实用新型一种基于液态金属电磁微喷的导线磁场与自热一体化装置是由刘伟平;罗志伟;郑铭泽;张一旸;陈皓阳;但雨哲;李灌林;张竣淋;江畅;何震宇;蔡建进设计研发完成,并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于液态金属电磁微喷的导线磁场与自热一体化装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种基于液态金属电磁微喷的导线磁场与自热一体化装置,涉及集成电路制造光刻设备技术领域。包括电磁微喷阀,所述电磁微喷阀内设置有两个外接电源的电极杆;所述电磁微喷阀相对的两侧设置有通电金属线,所述通电金属线适于连接高变电源以产生高频交变磁场,进而对电磁微喷阀内部的金属液体进行加热。通过本方案可以通过快速变换导线通电的方向产生高频交变磁场,使金属液体产生感应电动势,进而产生涡流起到给金属液体加热的效果。
本实用新型一种基于液态金属电磁微喷的导线磁场与自热一体化装置在权利要求书中公布了:1.一种基于液态金属电磁微喷的导线磁场与自热一体化装置,包括电磁微喷阀,其特征在于,所述电磁微喷阀内设置有两个外接电源的电极杆;所述电磁微喷阀相对的两侧设置有通电金属线,所述通电金属线适于连接高变电源以产生高频交变磁场,进而对电磁微喷阀内部的金属液体进行加热。
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