大连诺豪联恒电子科技有限公司林延春获国家专利权
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龙图腾网获悉大连诺豪联恒电子科技有限公司申请的专利一种PECVD腔体清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223717936U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520218618.9，技术领域涉及：B08B9/20；该实用新型一种PECVD腔体清洗装置是由林延春;关宏远;姚昕雨设计研发完成，并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD腔体清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及PECVD技术领域，具体涉及一种PECVD腔体清洗装置，包括底座，所述底座的顶端壁两侧通过支撑柱设有顶座，所述顶座的顶端壁中部设有清洁桶，所述清洁桶的底端壁上设有排液管，所述排液管的两个支路分别设有排液分管一和排液分管二，所述顶座的顶端壁左右两侧均设有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的驱动顶端之间设有支撑座，所述支撑座的顶端壁中部设有壳体，所述壳体的顶端壁上设有电机。本实用新型的PECVD腔体清洗装置集成了多种清洗方式，能够对PECVD腔体的各个部位进行全面且高效的清洗，电机驱动喷头围绕PECVD腔体进行圆周旋转运动，确保了清洁液能够覆盖到腔体的每一个角落，即使是一些复杂结构和难以到达的部位也能得到有效清洗。
本实用新型一种PECVD腔体清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD腔体清洗装置，其特征在于：包括底座1， 所述底座1的顶端壁两侧通过支撑柱2设有顶座3，所述顶座3的顶端壁中部设有清洁桶4，所述清洁桶4的底端壁上设有排液管5，所述排液管5的两个支路分别设有排液分管一6和排液分管二7，所述顶座3的顶端壁左右两侧均设有液压伸缩杆8，所述液压伸缩杆8的驱动顶端之间设有支撑座9，所述支撑座9的顶端壁中部设有壳体10，所述壳体10的顶端壁上设有电机11，所述壳体10的外壁左右两侧分别设有进水管12和进液管13，所述壳体10的上下内壁通过轴承一转动连接有转杆14，且转杆14的顶端通过联轴器与电机11的输出端固定连接，所述转杆14的外壁贯穿开设有与内腔相通的通孔15，所述转杆14的底端延伸出壳体10外，且设有清洗机构，所述转杆14的外壁上设有烘干机构。
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