江苏盟星智能科技有限公司梅力获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏盟星智能科技有限公司申请的专利基于激光扫描的晶圆工艺参数优化方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120914128B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511403359.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基于激光扫描的晶圆工艺参数优化方法及系统是由梅力设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于激光扫描的晶圆工艺参数优化方法及系统在说明书摘要公布了：本申请提供了基于激光扫描的晶圆工艺参数优化方法及系统，涉及半导体技术领域，所述方法包括：通过毫米波扫描，确定第一晶圆状态；构建第一梯度传递关系和第二梯度传递关系，搭建轻量参控模块并嵌入式部署于加工机床中控；随加工需求的趋变，触发轻量参控模块，执行基于晶圆翘曲与沟槽高深宽比的趋变调控决策，根据第一晶圆状态执行基于晶圆状态缺陷下的优化调控补偿，确定多轴激光参数，对目标晶圆进行工艺优化控制。通过本申请解决了现有技术中由于晶圆加工过程中不同位置存在晶圆翘曲需求的不同、沟槽几何状态的变化，且晶圆表面存在瑕疵，导致加工精度不稳定的技术问题，以激光组件与毫米波组件协同驱动，优化了晶圆加工的精度和良品率。
本发明授权基于激光扫描的晶圆工艺参数优化方法及系统在权利要求书中公布了：1.基于激光扫描的晶圆工艺参数优化方法，其特征在于，包括： 通过毫米波扫描，确定第一晶圆状态，其中，第一晶圆状态包含第一晶圆位置的表面特征与亚表面特征； 以晶圆翘曲控制维度下的应力张量构建第一梯度传递关系，以高深宽比沟槽加工下的热累积构建第二梯度传递关系，搭建轻量参控模块并嵌入式部署于加工机床中控； 随加工需求的趋变，触发所述轻量参控模块，执行基于晶圆翘曲与沟槽高深宽比的趋变调控决策，根据所述第一晶圆状态执行基于晶圆状态缺陷下的优化调控补偿，确定多轴激光参数，对目标晶圆进行工艺优化控制。
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