南通理工学院;南通国和半导体设备有限公司高萌获国家专利权
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龙图腾网获悉南通理工学院;南通国和半导体设备有限公司申请的专利一种应用自动塑封系统的设备流程数据监测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120911936B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511434565.5,技术领域涉及:G06Q10/0633;该发明授权一种应用自动塑封系统的设备流程数据监测系统及方法是由高萌;王哲;邱岳;邹智豪;尤红权;王羽菲;吴迪设计研发完成,并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用自动塑封系统的设备流程数据监测系统及方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种应用自动塑封系统的设备流程数据监测系统及方法,涉及数据处理技术领域,所述系统包括:时序分析模块,用于采集自动塑封系统中目标设备的实时运行数据,进行运行时序分析;阶段划分模块,用于对多维时序数据流按照多个塑封工艺阶段进行划分;质量评价模块,用于遍历多个阶段数据进行实时状态监测和塑封质量评价,确定塑封工艺偏差结果;回溯优化模块,用于进行回溯调整,将多阶段流程优化数据反馈至控制终端。通过本申请可以解决现有技术中由于自动塑封系统分段控制粒度不足,难以进行全阶段精细化控制,导致塑封质量波动较大的技术问题,通过对各工艺阶段进行质量评价和偏差调整,提高了塑封质量和生产效率。
本发明授权一种应用自动塑封系统的设备流程数据监测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种应用自动塑封系统的设备流程数据监测系统,其特征在于,包括: 时序分析模块,用于采集自动塑封系统中目标设备的实时运行数据,基于塑封工艺流程对所述实时运行数据进行运行时序分析,获得多维时序数据流; 阶段划分模块,用于对所述多维时序数据流按照多个塑封工艺阶段进行划分,确定多个阶段数据; 质量评价模块,用于遍历所述多个阶段数据进行实时状态监测,生成工艺状态指标集,根据所述工艺状态指标集进行塑封质量评价,确定塑封工艺偏差结果; 回溯优化模块,用于按照所述塑封工艺偏差结果对所述多个阶段数据进行回溯调整,构建目标设备的多阶段流程优化数据,将所述多阶段流程优化数据反馈至自动塑封系统的控制终端; 所述时序分析模块,包括: 同步采集单元,用于对自动塑封系统布设多类型传感器进行目标设备的同步采集,获得多组实时运行数据; 数据标记单元,用于对所述多组实时运行数据按照多类型传感器进行数据类型标记,生成数据类型标签; 数据对齐单元,用于基于塑封工艺时序提取工艺时间戳,将所述多组实时运行数据按照所述工艺时间戳进行对齐,生成原始时序数据集; 数据融合单元,用于将所述原始时序数据集与所述数据类型标签进行匹配,生成多维信号,将所述多维信号映射至同一时间基准进行融合,确定所述多维时序数据流; 所述数据融合单元,包括: 信号处理通道匹配子单元,用于基于所述数据类型标签匹配信号处理通道,确定温度空间差值通道、压力波形滤波通道、轨迹平滑通道、频谱提取通道; 温度分析子单元,用于将所述原始时序数据集映射至所述温度空间差值通道对目标设备进行全模具温度分析,构建温度梯度矩阵; 压力滤波子单元,用于将所述原始时序数据集映射至所述压力波形滤波通道对目标设备进行压力滤波,获得压力分布波形数据; 位移测距子单元,用于将所述原始时序数据集映射至所述轨迹平滑通道对目标设备进行位移测距,获得位移轨迹向量; 电流能量计算子单元,用于将所述原始时序数据集映射至所述频谱提取通道对目标设备进行电流能量计算,获得电流频谱数据; 基准融合子单元,用于将所述温度梯度矩阵、所述压力分布波形数据、所述位移轨迹向量、所述电流频谱数据映射至同一时间基准进行融合,确定所述多维时序数据流; 所述阶段划分模块,包括: 动态分割单元,用于加载塑封工艺全流程参数,将所述塑封工艺全流程参数进行动态分割,获得多个塑封工艺阶段; 动态切片单元,用于将所述多维时序数据流映射至所述多个塑封工艺阶段进行动态切片,生成多个连续子序列阶段数据; 时序分析单元,用于基于所述多个连续子序列阶段数据执行运行时序分析,生成工艺阶段运行状态特征向量集; 阶段边界检测单元,用于基于所述工艺阶段运行状态特征向量集执行阶段边界检测,确定多个阶段标签; 标签同步单元,用于将所述多个阶段标签同步标识至所述多维时序数据流,确定所述多个阶段数据; 所述动态切片单元,包括: 第一切片子单元,用于将所述温度梯度矩阵映射至所述多个塑封工艺阶段对多维时序数据流进行动态切片,生成第一子序列阶段数据; 第二切片子单元,用于将所述压力分布波形数据映射至所述多个塑封工艺阶段对多维时序数据流进行动态切片,生成第二子序列阶段数据; 第三切片子单元,用于将所述位移轨迹向量映射至所述多个塑封工艺阶段对多维时序数据流进行动态切片,生成第三子序列阶段数据; 第四切片子单元,用于将所述电流频谱数据映射至所述多个塑封工艺阶段对多维时序数据流进行动态切片,生成第四子序列阶段数据; 阶段排列子单元,用于将所述第一子序列阶段数据、所述第二子序列阶段数据、所述第三子序列阶段数据、所述第四子序列阶段数据按照所述塑封工艺全流程参数进行排列,生成所述多个连续子序列阶段数据。
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