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龙图腾网获悉苏州汇影光学技术有限公司申请的专利一种基于数据处理的曝光机故障诊断方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120909079B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511416555.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于数据处理的曝光机故障诊断方法及系统是由李治显;谢晓凯;万佳;刘霞设计研发完成，并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于数据处理的曝光机故障诊断方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及数据处理领域，具体涉及一种基于数据处理的曝光机故障诊断方法及系统。包括：获取灰度曝光图像以及振动数据；对灰度曝光图像进行Hough曲线检测，得到每个灰度曝光图像中的曲线数量值和每个曲线数量值对应的投票数；计算灰度曝光图像的视觉曝光指标；对灰度曝光图像进行二维快速傅里叶变换，得到频谱结果；计算灰度曝光图像的频率比率；计算灰度曝光图像的曝光成型性指标；当曝光成型性指标小于或者等于预设故障阈值时，根据振动数据计算振动根因指标，根据振动根因指标计算磨损振动量；根据磨损振动量确定曝光机的故障原因。本发明可以提高曝光机故障类型的识别精度。

本发明授权一种基于数据处理的曝光机故障诊断方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于数据处理的曝光机故障诊断方法，其特征在于，包括： 获取曝光机成像之后的曝光图像对应的灰度曝光图像以及每个曝光图像成型过程中的振动数据； 对所述灰度曝光图像进行Hough曲线检测，得到每个灰度曝光图像中的曲线数量值和每个曲线数量值对应的投票数； 针对每个灰度曝光图像，将所述曲线数量值对应的投票数进行求和，得到每个灰度曝光图像的线条清晰程度； 使用灰度熵计算方法计算每个灰度曝光图像的灰度熵； 将每个灰度曝光图像的灰度熵求倒数，得到每个灰度曝光图像的混乱程度； 使用所述每个灰度曝光图像的线条清晰程度、所述每个灰度曝光图像的混乱程度和每个灰度曝光图像的曲线数量值的乘积，计算得到每个灰度曝光图像的视觉曝光指标； 对所述灰度曝光图像进行二维快速傅里叶变换，得到频谱结果； 根据所述频谱结果，计算所述灰度曝光图像的频率比率； 计算所述视觉曝光指标和所述频率比率的比值，得到初始曝光成型性指标； 对所述初始曝光成型性指标进行归一化，得到曝光成型性指标； 当所述曝光成型性指标大于预设故障阈值时，确定所述曝光机为正常运行； 当所述曝光成型性指标小于或者等于预设故障阈值时，使用最小二乘法将所述振动数据转化为振动曲线； 从所述振动曲线中确定所述振动曲线的极大值峰值以及相邻极大值峰值之间的时间差序列； 根据所述振动曲线的极大值峰值和所述时间差序列，确定振动根因指标； 对所述振动数据进行离散傅里叶变换，得到离散频谱； 将所述离散频谱中不同频率下的能量值求积分，得到频谱能量总量； 将所述频谱能量总量与所述离散频谱中最大能量分量的比值，确定为振动周期性； 计算所述振动根因指标和所述振动周期性的乘积，并进行归一化，得到磨损振动量； 根据所述磨损振动量确定所述曝光机的故障原因。

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