广东省科学院半导体研究所刘珠明获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省科学院半导体研究所申请的专利光刻胶收缩量预测方法及系统、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120805103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511287526.7，技术领域涉及：G06F18/27；该发明授权光刻胶收缩量预测方法及系统、电子设备是由刘珠明;刘飒;吴和明;朱亚楠;陈杏文;张子彤;张衍俊;陈志涛;赵维;葛进国设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶收缩量预测方法及系统、电子设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种光刻胶收缩量预测方法，其包括获取输入数据，其中，所述输入数据包括CD‑SEM测量条件、CD‑SEM测量到的光刻胶厚度和光刻胶宽度原始数值；将获取的输入数据输入到预先训练好的预测模型，并获取所述预测模型的输出结果，其中，所述预测模型为基于蜘蛛蜂优化算法和支持向量回归算法训练得到，所述输出结果为光刻胶在CD‑SEM测量下的收缩量。本发明的方法利用支持向量回归SVR来构建光刻胶收缩预测模型，并通过蜘蛛蜂优化算法对支持向量回归模型进行参数寻优，从而提升SVR的回归性能，因而训练生成的预测模型在预测光刻胶收缩值方面能够达到更精准的预测结果，这有助于提高CD‑SEM的计量准确性。
本发明授权光刻胶收缩量预测方法及系统、电子设备在权利要求书中公布了：1.光刻胶收缩量预测方法，其特征在于，包括： 获取输入数据，其中，所述输入数据包括CD-SEM测量条件、CD-SEM测量到的光刻胶厚度和光刻胶宽度原始数值； 将获取的输入数据输入到预先训练好的预测模型，并获取所述预测模型的输出结果，其中，所述预测模型为基于改进的蜘蛛蜂优化算法和支持向量回归算法训练得到，所述输出结果为光刻胶在CD-SEM测量下导致的收缩量，所述改进的蜘蛛蜂优化算法的狩猎行为和筑巢行为通过下述公式进行权衡： 其中，TRt为第t次迭代中的权衡率，TRt值的调整范围被限制在0.1到0.9之间，t为当前迭代次数，δ为预设阈值，η为调节步长，ΔFit为最佳适应度提升幅度，其计算公式如下： 其中Best_scoret表示第t次迭代中的最佳适应度，Best_scoret-1表示第t-1次迭代中的最佳适应度。
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