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龙图腾网获悉江苏迈纳德微纳技术有限公司申请的专利一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120158727B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510283859.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法是由武晓瑞;左雪芹;徐涛;储文祥;许文豪;陈雪凤;陆雪强设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法，属于原子层沉积反应设备技术领域。该系统通过将质量流量控制器与原有的进气气动阀相结合，实现了对沉积过程中前驱体源瓶中气体量的精确控制；并通过压力计实时监测前驱体源瓶内部的压力，实现对沉积过程中温度的精确控制；此外还通过出源口的气体分析仪实时监测出源气体中前驱体源气体和辅助气体的具体含量，从而辅助系统判断是否需补充反应气体；质量流量控制器、压力计和气体分析仪都与PLC控制器连接，通过PLC控制器实现各部分的控制；实现了低饱和蒸气压前驱体源在进行实验过程中的气体控制、压力监测和成分监测。

本发明授权一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法在权利要求书中公布了：1.一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法，其特征在于，所述原子层沉积供气方法基于一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气系统实现，所述原子层沉积供气系统包括载气辅助式前驱体源瓶、加热装置、前驱体源压力计、气体分析仪、辅助气体储气罐、PLC控制器、进出气手动阀、进出气气动阀、载气瓶、质量流量控制器、储气压力计、真空泵以及旁抽气动阀； 所述气体分析仪与前驱体源压力计设置在前驱体源瓶的出气手动阀和出气气动阀之间；所述载气辅助式前驱体源瓶与辅助气体储气罐连通的气体管路上设置有进气气动阀；所述载气瓶与辅助气体储气罐通过气体管路相连通，质量流量控制器设置在二者之间的气体管路上，储气压力计用于检测辅助气体储气罐中压力；真空泵通过所述旁抽气动阀与辅助气体储气罐相连；所述PLC控制器根据储气压力计值控制质量流量控制器以及真空泵使得辅助气体储气罐内的压力处于预定范围; 所述方法包括： 步骤1，关闭进出气气动阀以及进气手动阀，打开出气手动阀； 步骤2，利用加热装置对载气辅助式前驱体源瓶内的前驱体源进行加热，加热温度设置为T1，T1根据具体前驱体源的经验值设定，且T1＜T0，T0为进出气手动阀能够承受的极限温度； 步骤3，获取前驱体源压力计值P1，并与温度T1对应的饱和蒸气压理论值P比较，若P1＜P，则升高加热装置的加热温度，直至前驱体源压力计值等于或大于升高后温度对应的饱和蒸气压理论值，此时温度记为T2，T2≤T0，将T2确定为最终加热温度； 若升高加热装置的加热温度至T0时，前驱体源压力计值依然小于其对应的饱和蒸气压理论值，则将T0确定为最终加热温度； 步骤4，确定最终加热温度后，打开载气辅助式前驱体源瓶的进气手动阀以及进气气动阀，向载气辅助式前驱体源瓶中通入载气；同时打开出气气动阀对反应腔进行供气； 步骤5，供气过程中，通过气体分析仪分析载气辅助式前驱体源瓶中的气体成分，如果前驱体含量比例低于预先设定的阈值，则通过PLC控制器控制减少进气气动阀开启时间或关闭进气气动阀。

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