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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119582497B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411600931.5，技术领域涉及：H02K1/34；该发明授权一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机是由那拓扑;石庭松;段钰靖;段永鑫;赵勃;谭久彬设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机在说明书摘要公布了：一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机，本发明为了解决动铁式磁悬浮结构动子上面的负载需要线缆进行供电，进而对工件台运动精度造成影响的问题，本发明包括电机定子单元和电机动子单元，所述电机动子单元位于电机定子单元的上部，本发在定子侧增加了无线电能传输发射端线圈，在动子侧增加无线电能传输接收端线圈，接收端线圈接收电能，为动子上的负载提供电能。通过利用提出的带有无线电能传输发射端线圈的海尔贝克阵列定子和带有无线电能传输接收端线圈的动子绕组，可以实现动子绕组低电流波动供电，保证动圈式磁悬浮平面电机无缆化长行程运行，进而提升光刻机用工件台的运动性能。本发明属于光刻设备技术领域。

本发明授权一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机在权利要求书中公布了：1.一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机，包括电机定子单元1和电机动子单元2，所述电机动子单元2位于电机定子单元1的上部，其特征在于： 所述电机定子单元1包括磁悬浮平面电机定子绕组1-1和多个无线电能传输发射端线圈1-2，所述多个无线电能传输发射端线圈1-2呈4*4的方格矩阵布置，每个方格矩阵内设有一个磁悬浮平面电机定子绕组1-1；定子绕组1-1和无线电能传输发射端线圈1-2的上表面高度相同； 所述电机动子单元2包括第一磁铁2-1、第二磁铁2-2、第三磁铁2-3和多个无线电能传输接收端线圈2-4，多个无线电能传输接收端线圈2-4呈“田”字型布置，每个田字框的小方格内设有第一磁铁2-1和第二磁铁2-2，第一磁铁2-1和第二磁铁2-2由内至外依次设置；所述第二磁铁2-2为四个，分别围绕在所述第一磁铁2-1的周围；所述第三磁铁2-3的数量为四个，分别位于第二磁铁2-2的上、下、左、右侧；每个第三磁铁2-3的上部设有一个无线电能传输接收端线圈2-4；第一磁铁2-1和第二磁铁2-2的高度相同，第三磁铁2-3的高度低于第一磁铁2-1和第二磁铁2-2。

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