深圳晶源信息技术有限公司李慧获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳晶源信息技术有限公司申请的专利一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119439653B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411934445.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品是由李慧设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品。建模方法包括根据已获取的掩模版图的预设计算范围内的掩模图像，计算出预设计算范围内的预设采样窗口内的图形密度图；根据图形密度图计算获得显影速率调整模型；利用显影速率调整模型对已获取的基本光刻胶显影速率模型进行调整，得到调整后的光刻胶显影速率模型。本建模方法可反映显影过程中的显影负载，提高光刻胶显影速率模型的仿真准确度。
本发明授权一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶显影速率模型的建模方法，其特征在于，包括： 根据已获取的掩模版图的预设计算范围内的掩模图像，计算出所述预设计算范围内的预设采样窗口内的图形密度图； 根据所述图形密度图计算获得显影速率调整模型； 利用所述显影速率调整模型对已获取的基本光刻胶显影速率模型进行调整，得到调整后的光刻胶显影速率模型。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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