中国科学院过程工程研究所陈锦溢获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院过程工程研究所申请的专利一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119258568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411335976.4，技术领域涉及：B01D3/14；该发明授权一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺是由陈锦溢;郭莉;华超;房川琦;白芳;陆平;张豪豪设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺，包括两台隔板精馏塔、换热器及附属设备。本发明通过两台串联并耦合的隔板精馏塔不仅实现还原回收氯硅烷组分的高效分离，还对产品进行提纯，满足大型还原炉及电子级多晶硅的生产要求，与现有工艺相比，显著提高分离效率，降低杂质纯度，并且大幅度降低分离系统的能耗，具备优异的工业应用优势。
本发明授权一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺，其特征在于，包含以下步骤： 还原氯硅烷从隔板精馏一塔T1的隔板进料侧T1-2中上部进入，塔顶得到脱除四氯化硅的三氯氢硅和二氯二氢硅，隔板采出侧T1-3中下部得到脱除三氯氢硅和高沸物的四氯化硅，塔釜排出沸点高于四氯化硅的高沸物； 隔板精馏一塔T1塔顶得到的三氯氢硅和二氯二氢硅从隔板精馏二塔T2的隔板进料侧T2-2中上部进入，从隔板精馏二塔T2的塔顶排出轻杂，公共精馏段T2-1中部侧采得到二氯二氢硅，隔板采出侧T2-3中下部得到高纯三氯氢硅，塔釜排出重杂； 所述隔板精馏一塔T1的塔顶气相出口分别与隔板精馏一塔T1冷凝器E2的气相入口、隔板精馏二塔T2再沸器E3的气相入口相连接，隔板精馏一塔T1冷凝器E2的液相出口和隔板精馏二塔T2再沸器E3的液相出口合并后，分别与隔板精馏一塔T1塔顶回流口、脱除四氯化硅的三氯氢硅和二氯二氢硅出料管线相连接； 所述隔板精馏一塔T1的塔顶压力为0.6~0.8MPaG，塔顶温度为90~110℃，回流比为1.5:1~3:1； 所述隔板精馏二塔T2的塔顶压力为0.2~0.4MPaG，塔顶温度为40~60℃，回流比为250:1~350:1。
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