深圳晶源信息技术有限公司杨子仪获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳晶源信息技术有限公司申请的专利一种掩模版图优化方法、计算机设备、可读存储介质及程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119167852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411356166.7，技术领域涉及：G06F30/337；该发明授权一种掩模版图优化方法、计算机设备、可读存储介质及程序产品是由杨子仪设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩模版图优化方法、计算机设备、可读存储介质及程序产品在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片设计领域，特别涉及一种掩模版图优化方法、计算机设备、可读存储介质及程序产品，掩模版图优化方法中提供包括掩模版图生成模块和光刻仿真模块的神经网络模型，掩模版图生成模块基于输入的原始设计版图输出对应的掩模版图，光刻仿真模块根据掩模版图仿真得到对应的仿真光刻图案，通过仿真光刻图案和原始设计版图的对应关系构建损失函数，以损失函数调整神经网络模型中的参数，迭代优化掩模版图生成模块输出的掩模版图，提高了得到的掩模版图的准确度；同时模型能精准地获取图形信息，从而使得即使采用低分辨率的原始设计版图也能得到较好的优化结果，保证了基于原始设计版图输出的掩模版图的精度。
本发明授权一种掩模版图优化方法、计算机设备、可读存储介质及程序产品在权利要求书中公布了：1.一种掩模版图优化方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供神经网络模型，神经网络模型包括掩模版图生成模块和光刻仿真模块，提供包含若干设计图形的原始设计版图，将原始设计版图输入掩模版图生成模块输出对应的掩模版图，光刻仿真模块根据掩模版图仿真得到对应的仿真光刻图案； 提供与原始设计版图对应的赋值图，基于原始设计版图内的设计图形在赋值图对应像素格点内的面积占比定义对应像素格点的赋值； 定义赋值图上像素格点的赋值和仿真光刻图案上对应像素格点的对应关系，以构建损失函数； 以损失函数调整神经网络模型中的参数，从而迭代优化掩模版图生成模块输出的掩模版图；将迭代完成后获得的仿真光刻图案对应的掩模版图作为优化掩模版图输出。
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