华海清科股份有限公司孟松林获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119077607B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411348833.7，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备是由孟松林;路新春;程子政;张洪蛟;王科设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备。承载头包括：承载头主体；设置于承载头主体朝向晶圆的一侧的保持环，保持环将晶圆限定在其中，保持环构造有轴向贯通的安装孔；以及至少部分地设置在安装孔中的防滑片机构，防滑片机构包括轴向贯通的防滑片座和穿过防滑片座的防滑片主体；防滑片主体配置成可轴向伸缩，以在保持环抵靠抛光单元时缩回到安装孔中，并且在保持环与抛光单元轴向分开时从保持环伸出以阻挡晶圆从保持环滑出。根据本申请的技术方案，有效避免了晶圆滑出，减少了晶圆破碎的风险。
本发明授权用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的承载头，其特征在于，包括： 承载头主体； 设置于承载头主体朝向晶圆的一侧的保持环，保持环将晶圆限定在其中，保持环构造有轴向贯通的安装孔；通过调整保持环的压力，使承载头下方的抛光垫局部变形，来调控晶圆边缘去除速率； 至少部分地设置在安装孔中的防滑片机构，其包括轴向贯通的防滑片座和穿过防滑片座的防滑片主体；防滑片主体配置成可轴向伸缩，以在保持环抵靠抛光单元时缩回到安装孔中，并在保持环与抛光单元之间压力较小而轴向分开导致晶圆具有径向滑出的趋势时、或由于保持环与抛光单元之间的摩擦力较大导致承载头偏斜而致使晶圆具有径向滑出的趋势时从保持环伸出，以阻挡晶圆从保持环滑出，并扩大保持环的压力调节范围。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励