南京航空航天大学殷景飞获国家专利权
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龙图腾网获悉南京航空航天大学申请的专利一种用于透明材料表面/亚表面缺陷的激光同步检测系统及其运行方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118961760B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411048199.5,技术领域涉及:G01N21/958;该发明授权一种用于透明材料表面/亚表面缺陷的激光同步检测系统及其运行方法是由殷景飞;宋圣伟;许鹏飞;张炜;徐九华设计研发完成,并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于透明材料表面/亚表面缺陷的激光同步检测系统及其运行方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于透明材料表面亚表面缺陷的激光同步检测系统及其运行方法。激光器发射的线偏振激光,通过偏振分光镜、积分球和下聚焦透镜聚焦于透明材料表面。精密位移平台带动透明材料移动,实现激光自动扫描。表面偏振光传感器采集表面散射信号。亚表面缺陷散射光经透明材料底部的反射镜反射后,被偏振分光镜反射。反射光经上聚焦透镜聚焦后,通过针孔被亚表面偏振光传感器采集。计算机对采集的信号进行滤波处理和实时成像,实现对透明材料表面和亚表面缺陷的同时检测。本发明结构简单,能够实时对透明材料表面和亚表面缺陷同步成像,提高了检测效率。在透明材料底部增设了反射镜,减小样品台表面对检测的影响,解决了材料高透光性对亚表面检测影响的问题。
本发明授权一种用于透明材料表面/亚表面缺陷的激光同步检测系统及其运行方法在权利要求书中公布了:1.一种用于透明材料表面和亚表面缺陷的激光同步检测系统,其特征在于,该系统包括激光器、偏振分光镜、积分球、聚焦透镜、反射镜、针孔、传感器、精密位移平台、计算机; 所述激光器发出的激光为线偏振红外光束,位于系统的顶端; 所述偏振分光镜位于激光器的下方,具有偏振选择作用;激光器发射的线偏振光直接穿过偏振分光镜; 所述积分球位于偏振分光镜的下方,用于收集透明材料的表面散射光;红外激光穿过偏振分光镜后,沿着光路直线穿过积分球内部; 所述聚焦透镜包括上聚焦透镜和下聚焦透镜;下聚焦透镜位于积分球下方,将激光束聚焦到透明材料的表面,提高激光的功率密度和能量集中度;上聚焦透镜位于偏振分光镜的左端; 所述反射镜位于透明材料的下方,载物台的上方,减小载物台表面对检测结果影响的同时,使透明材料亚表面缺陷散射后的光反射; 所述针孔位于上聚焦透镜的左端,处于聚焦透镜的焦点处,通过阻挡焦点以外的散射光线,减少背景噪声和干扰信号,从而提高成像的信噪比; 所述传感器连接至计算机,用于采集表面亚表面缺陷散射光的信号;所述计算机通过编程实现检测扫描路径的设计,并将指令传输给控制器,使精密位移平台带动材料,实现自动化扫描;同时,计算机用于接收所述传感器采集的信号,对表面和亚表面散射光信号滤波处理后进行成像,并判断图像中是否有缺陷;所述传感器包括表面偏振光传感器和亚表面偏振光传感器;其中,表面偏振光传感器16设置在积分球一侧,用于采集亚表面缺陷散射光的信号,亚表面偏振光传感器14设置上聚焦透镜一侧、针孔后方,用于采集表面缺陷散射光的信号。
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