北京北方华创微电子装备有限公司张磊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种基片台系统及MPCVD设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118668191B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410702675.4，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种基片台系统及MPCVD设备是由张磊;朱磊;贾燕伟;赵万辉;吴周礼设计研发完成，并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片台系统及MPCVD设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基片台系统MPCVD设备，包括：层叠设置的微波反射台和大钼台；基片台，设置在所述大钼台远离所述微波反射台的一侧；其中，所述大钼台远离所述微波反射台的一侧设置有环形凸起，所述环形凸起与所述基片台同轴，并环绕在所述基片台的外周。如此设置，在基片台的外周设置环形凸台，可以使基片台上方形成的等离子体分布较为均匀，进而减小中心和边缘的温度差，保证金刚石生长速率一致，降低金刚石晶体应力，降低裂片率。
本发明授权一种基片台系统及MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种基片台系统，其特征在于，包括： 层叠设置的微波反射台和大钼台； 基片台，设置在所述大钼台远离所述微波反射台的一侧； 其中，所述大钼台远离所述微波反射台的一侧设置有环形凸起，所述环形凸起与所述基片台同轴，并环绕在所述基片台的外周；所述基片台面向所述大钼台一侧具有第二接触结构，所述基片台通过所述第二接触结构与所述大钼台接触，所述第二接触结构设置为线接触结构或者点接触结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励