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龙图腾网获悉深圳市汇芯通信技术有限公司申请的专利化学气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118547267B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410611583.5，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权化学气相沉积装置是由李海滨;许明伟;樊晓兵设计研发完成，并于2024-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种化学气相沉积装置。本申请包括喷淋腔室、调节组件和驱动装置。喷淋腔室包括开设有若干喷淋口的底板。调节组件与喷淋口对应设置。驱动装置与调节组件磁吸配合，带动调节组件在第一状态和第二状态之间切换。当调节组件处于第一状态时，调节组件与底板分离，喷淋腔室内物质依次通过调节组件和喷淋口。当调节组件处于第二状态时，调节组件与底板相抵接，调节组件遮挡底板上的部分喷淋口，以控制喷淋口处物质的流通。本申请通过驱动装置与调节组件相配合，以改变有效的喷淋口的排布，从而调控物质后续的分布情况，进而提高改善沉积薄膜的均匀性，同时，驱动装置和调节组件的配合方式，还能够降低对喷淋腔室的污染程度和泄露风险。

本发明授权化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括： 喷淋腔室，所述喷淋腔室包括开设有若干喷淋口的底板； 调节组件，所述调节组件位于所述喷淋腔室内侧，且所述调节组件与所述喷淋口对应设置； 驱动装置，所述驱动装置位于所述喷淋腔室外侧，且所述驱动装置与所述调节组件无接触地磁吸配合，以带动所述调节组件在第一状态和第二状态之间切换；其中， 当调节组件处于第一状态时，所述调节组件与所述底板分离，所述喷淋腔室内物质依次通过所述调节组件和喷淋口； 当所述调节组件处于第二状态时，所述调节组件与所述底板相抵接，调节组件遮挡所述底板上的部分所述喷淋口，以控制所述喷淋口处物质的流通； 所述调节组件包括若干阻挡件，且所述阻挡件间隔布置；所述阻挡件在所述底板上的正投影处对应所述喷淋口的数量，沿阻挡件的中心向外扩散的方向上先增多后减小；所述调节组件还包括第一磁性件，所述第一磁性件位于所述阻挡件上，且与所述驱动装置磁吸配合；所述驱动装置包括升降杆件和第二磁性件，所述升降杆件的一端与所述第二磁性件相连，所述第二磁性件与所述第一磁性件无接触地磁吸配合；所述升降杆件在远离所述底板的方向上来回移动，以带动所述阻挡件在所述第一状态和第二状态之间切换。

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