合肥开悦半导体科技有限公司蔡虹获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥开悦半导体科技有限公司申请的专利一种涂胶显影机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117192901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311383949.X，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种涂胶显影机是由蔡虹;王向东;徐政伟;赵明山;魏祥红;邵东设计研发完成，并于2023-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种涂胶显影机，包括机体及机体内设置的工艺单元、化学品室，所述工艺单元包括涂胶单元；所述涂胶单元设有多个且对称设置在化学品室两侧，化学品室与所述涂胶单元通过管道、分流管连接；位于化学品室两侧的多个所述分流管对称设置；所述管道与分流管的连接处设置在两侧分流管的对称轴线上。本发明设计新颖，通过将涂胶单元布置在化学品室两侧的设计，有效的缩短了光刻胶的供应管路，避免了光刻胶在管路内的凝结，保证了光刻胶的稳定供应，同时也大大简化了光刻胶供应系统的设计，保证了涂胶显影机的稳定使用。
本发明授权一种涂胶显影机在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机，其特征在于，包括机体及机体内设置的工艺单元1、化学品室2，所述工艺单元1包括涂胶单元11和显影单元12； 所述涂胶单元11设有多个且对称设置在化学品室2两侧，化学品室2与所述涂胶单元11通过管道3、分流管31连接； 位于化学品室2两侧的多个所述分流管31对称设置； 所述管道3与分流管31的连接处设置在两侧分流管31的对称轴线上。
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