杭州众硅电子科技有限公司杨哲获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州众硅电子科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光的在线监测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117182761B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311239658.3，技术领域涉及：B24B37/013；该发明授权一种化学机械抛光的在线监测装置是由杨哲;周远鹏;朱政挺;喻康设计研发完成，并于2023-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光的在线监测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学机械抛光的在线监测装置，设于抛光盘内，可随抛光盘转动，其包括光源；光学镜组，用于接收光源发出的光束，产生准直光束；反射单元，用于接收准直光束并将其反射形成入射光路；检测探头，设于抛光垫的通光窗口下方，其包括石英导光管和单芯光纤，石英导光管用于接收入射光路，并将其从检测探头靠近晶圆的一端出射，单芯光纤用于接收经过晶圆表面反射的出射光路；探测器，与单芯光纤连接，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。本发明从光源到检测探头的光源光路采用自由空间传播，从检测探头到探测器的信号光路采用光纤传播，两种光束的传播方式依靠检测探头的设计得以良好过渡，实现高精度检测。
本发明授权一种化学机械抛光的在线监测装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光的在线监测装置，其特征在于：设于抛光盘内，可随抛光盘转动，其包括， 光源； 光学镜组，用于接收光源发出的光束，并产生准直光束； 反射单元，用于接收准直光束并将其反射形成入射光路； 检测探头，设于抛光垫的通光窗口下方，其至少包括石英导光管和单芯光纤，所述石英导光管用于接收入射光路，并将其从检测探头靠近晶圆的一端出射，所述单芯光纤用于接收经过晶圆表面反射的出射光路；所述石英导光管和单芯光纤靠近晶圆一端的端面齐平，且所述石英导光管靠近晶圆的端面具有倒角；在所述石英导光管和单芯光纤远离晶圆的一端，单芯光纤突出于石英导光管； 探测器，与所述单芯光纤连接，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。
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