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龙图腾网获悉北京维开科技有限公司申请的专利一种电阻蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117127146B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311075003.7，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种电阻蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法是由杜鸿基;陈亮设计研发完成，并于2023-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电阻蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明属于蒸镀设备技术领域，具体为一种电阻蒸发机构、带有上述蒸发机构的电阻蒸镀设备及方法，包括左右对称设置的两个支撑架，每个支撑架均包括位于中部的横梁和位于两侧的电极固定板，其中电极固定板与横梁相互垂直，电极固定板上固定有电极，两个支撑架中间设有蒸发源托架，托架上设有坩埚，所述的坩埚为圆筒形，内部放置有蒸镀材料。本发明提高了蒸镀工艺效率，延长了设备的使用寿命。

本发明授权一种电阻蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种带有电阻蒸发机构的电阻蒸发镀膜设备，其特征在于，所述电阻蒸发机构包括左右对称设置的两个支撑架，每个支撑架均包括位于中部的横梁和位于两侧的电极固定板，其中电极固定板与横梁相互垂直，电极固定板上固定有电极，每个支撑架均采用两根电极，电阻蒸发机构共有四根电极；两个支撑架中间设有蒸发源托架，托架上设有坩埚，所述的坩埚为圆筒形，内部放置有蒸镀材料； 所述电阻蒸发镀膜设备包括带有斜面的蒸镀室，蒸镀室的上方中部设有工件盘系统，工件盘系统使工件盘均匀的按照设定进行旋转，工件盘系统下方设有电阻蒸发机构，蒸镀室壁上嵌入式安装有离子源系统，离子源系统为提供工件预清洗和刻蚀工艺的系统，蒸镀室背侧安装有抽真空系统； 所述蒸镀室为船型结构；从其纵截面来看，包括顶面、底面，垂直于顶面和底面的第一侧面，垂直于顶面的第二侧面，连接第二侧面和底面的斜面，即将在矩形蒸镀室侧面做一斜面； 离子源的控制线，电源线，工艺气管，冷却水水管不位于蒸镀室内； 根据离子源中心射出射线至工件盘圆心为始点的半径的23处，设计斜面的制造角度和离子源的安装位置； 斜面与底面之间的夹角为120°，离子源表面中心点到工件盘以圆心为始点23处两点的距离为225mm，离子源表面中心点到工件盘以圆心为始点的23半径处，两点间的直线和工件盘水平方向之间的夹角为30°；且离子源在斜面上的安装位置为：从底边斜面的起始点到斜面中心的距离160mm处。

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