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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117107204B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311095164.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜及其制备方法是由李建军;张纯;秦峰设计研发完成，并于2023-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜及其制备方法，该方法采用共溅射制备具有高密度纳尺度非晶非晶层状界面的金属玻璃薄膜，其微结构独特之处在于组元层为元素相同但含量不同的非晶CuTa合金，该非晶组元层厚度控制在极小尺度；本发明充分利用二元Cu‑Ta合金的优异非晶形成能力，采用两种金属元素即可形成纳尺度非晶非晶界面，大幅度减少了合金元素的消耗，亦避免了合金靶材的复杂制备过程或昂贵合金靶材的定制，从而极大降低了材料的制备成本；本发明的金属玻璃薄膜具有高硬度与高变形能力微尺度压痕下无剪切带的优异力学性能，在高强度电子器件、耐磨以及抗腐蚀涂层等领域拥有广泛的应用前景。

本发明授权一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜，其特征在于，由元素相同但含量不同的CuTa合金交替沉积形成的，具有高密度纳尺度非晶非晶界面的多层金属玻璃薄膜，交替沉积的单个组元层厚度均为5nm，薄膜总层数大于200层，薄膜总厚度大于1μm； 所述的具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜的制备方法，包括如下步骤： S1：选取单质Cu靶材和Ta靶材，将选好的单质Cu靶材和Ta靶材放在沉积室的1、2号直流溅射靶腔内固定好，将沉积室内部抽真空； S2：将基底安装至沉积室内的三爪卡盘上，并调整基底与靶材之间的间距； S3：充入氩气，调节氩气流量控制沉积室的初始气压，设置偏压电源功率清洗基底；调节氩气流量控制沉积室的预溅射气压，设置1、2号直流溅射靶腔功率进行预溅射；初始气压为4～8Pa，偏压电源功率为30～50W，清洗时间为5～10min；预溅射气压为0.3Pa，1、2号直流溅射靶腔功率为30～50W，预溅射时间为10～15min； S4：控制基底旋转电机的转速，调节1、2号靶腔功率，进行溅射，第一层溅射完毕关闭靶腔挡盖，等待10～15s；调节1、2号靶腔功率，再次打开靶腔挡盖进行溅射，第二层溅射完毕关闭靶腔挡盖，再次等待10～15s；重复之前的步骤交替沉积，直至全部沉积完成，真空冷却至常温，即得。

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