北京博赛德科技有限公司;北京博赛泰克质量技术检测有限公司;英尼仪器(北京)有限公司任文华获国家专利权
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龙图腾网获悉北京博赛德科技有限公司;北京博赛泰克质量技术检测有限公司;英尼仪器(北京)有限公司申请的专利一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116360509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310457575.5,技术领域涉及:G05D7/06;该发明授权一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质是由任文华;可贵秋;孙振宇;曾建强;张晓红;任伟燕;王雷设计研发完成,并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请涉及一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质,涉及流量控制的领域,该方法包括获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值,基于第一内径值确定第一预设关系式组,基于第二内径值确定第二预设关系式组,基于第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值,基于第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值,基于第一压力值控制第一压力控制器动作,基于第二压力值控制第二压力控制器动作。本申请能够使得限流器在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。
本发明授权一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种气体流量控制方法,其特征在于,包括: 获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值,所述第一限流器为标准气体所在气路的限流器,所述第二限流器为稀释气体所在气路的限流器,所述第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值,所述第二目标流量值为第二限流器输出端所需的流量值; 基于所述第一内径值确定第一预设关系式组,基于所述第二内径值确定第二预设关系式组,所述第一预设关系式组包括所述第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式,所述第二预设关系式组包括所述第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式,关系式通过实时获取限流器输入端的测试压力值和输出端的输出流量值绘制散点图,经回归分析得到,所述关系式包括线性关系式和非线性关系式,不同流量区间之间存在重叠; 计算每个流量区间的中值,将与所述第一目标流量值相等或最接近的中值对应的流量区间确定为第一流量区间,以及将与所述第二目标流量值相等或最接近的中值对应的流量区间确定为第二流量区间; 基于所述第一流量区间对应的关系式计算第一压力值,所述第一压力值为所述第一限流器输入端的压力值; 基于所述第二流量区间对应的关系式计算第二压力值,所述第二压力值为所述第二限流器输入端的压力值; 基于所述第一压力值控制第一压力控制器动作,基于所述第二压力值控制第二压力控制器动作,所述第一压力控制器用于调节所述第一限流器输入端的压力值,所述第二压力控制器用于调节所述第二限流器输入端的压力值。
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