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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利兆声辅助的研磨盘及研磨总成获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115972081B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211702503.4，技术领域涉及：B24B37/11；该发明授权兆声辅助的研磨盘及研磨总成是由孙勇设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本兆声辅助的研磨盘及研磨总成在说明书摘要公布了：本发明提供一种兆声辅助的研磨盘及研磨总成。兆声辅助的研磨盘包括：研磨盘本体，其第一表面开设有容纳槽；上盘，覆盖研磨盘本体的第一表面，并与研磨盘本体可拆卸连接；兆声发生器；换能器，设置于容纳槽内，并与兆声发生器电连接；匹配层，在容纳槽内与换能器朝向上盘的一侧表面固定连接，并与上盘抵接；传动轴，与研磨盘本体固定连接；驱动组件，与传动轴驱动连接，驱动传动轴转动。采用本发明，借助兆声带动研磨盘本体及其上固定的研磨垫高频振动，则研磨垫窠室里的研磨液高频振动，在更小流量的情况下达到传统研磨液大流量所能达到的研磨效果，同时研磨垫窠室里的大颗粒杂质在高频振动和研磨液微流动的作用下离开研磨垫，减少晶圆刮伤。

本发明授权兆声辅助的研磨盘及研磨总成在权利要求书中公布了：1.一种兆声辅助的研磨盘，其特征在于，包括： 研磨盘本体，所述研磨盘本体的第一表面开设有容纳槽； 上盘，所述上盘覆盖所述研磨盘本体的第一表面，并与所述研磨盘本体可拆卸连接； 兆声发生器，所述兆声发生器发出的兆声频率为850KHz-1.4MHz； 换能器，所述换能器设置于所述容纳槽内，并与所述兆声发生器电连接； 匹配层，所述匹配层在所述容纳槽内与所述换能器朝向所述上盘的一侧表面固定连接，并与所述上盘抵接； 传动轴，所述传动轴与所述研磨盘本体固定连接； 驱动组件，所述驱动组件与所述传动轴驱动连接，驱动所述传动轴转动； 研磨垫，所述研磨垫与所述上盘背向所述容纳槽的一侧表面固定连接； 所述兆声发生器发出兆声波驱动信号，并通过导线传输至所述换能器，所述换能器将兆声波驱动信号转化成兆声波能量，驱动所述匹配层振动，进而带动与所述匹配层抵接的所述上盘振动，所述上盘振动带动所述研磨垫振动，进而所述研磨垫窠室内的研磨液及大颗粒杂质随之振动，研磨液通过高频振动实现微流动，大颗粒杂质在高频振动和研磨液微流动的作用下离开所述研磨垫窠室。

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