中国科学院化学研究所郑鲲获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院化学研究所申请的专利一种基板孔内成膜方法及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115772696B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111048686.8,技术领域涉及:C25D7/00;该发明授权一种基板孔内成膜方法及其应用是由郑鲲;马永梅;卢佳欣;张京楠;曹新宇;叶钢;向前设计研发完成,并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板孔内成膜方法及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基板孔内成膜方法及其应用,所述方法包括:1对绝缘基材表面和孔结构进行预处理;2将配制而成的石墨烯分散液涂覆于步骤1中经过电荷调整的绝缘基材表面和孔结构中,再对绝缘基材同时施加不同转动半径和不同转速的旋转干燥,使石墨烯形成可供金属电镀的导电层;3对步骤2所述带有导电层的绝缘基材进行电镀;所述石墨烯分散液包括水、石墨烯、结合助剂和水溶性导电聚合物;所述基板与其孔结构的厚径比为0.5~20:1。经过所述孔内成膜方法处理的绝缘基材的孔结构中会形成厚度均匀的石墨烯层,使得后续电镀形成的金属层也具有均匀的厚度,避免了孔结构的堵塞。
本发明授权一种基板孔内成膜方法及其应用在权利要求书中公布了:1.一种基板孔内成膜方法,所述基板包括表面和凹陷于表面的孔结构,其特征在于,包括: 1对绝缘基材表面和孔结构进行预处理;所述预处理包括预洗和或电荷调整; 2将配制而成的石墨烯分散液涂覆于步骤1中经过电荷调整的绝缘基材表面和孔结构中,再对绝缘基材同时施加不同转动半径和不同转速的旋转干燥,使石墨烯形成可供金属电镀的导电层; 干燥工艺包括:将经石墨烯分散液涂覆的绝缘基材同时以自转与公转的形式进行干燥,干燥温度40~100℃,自转转速为600~800rpm,公转转速为850~1200rpm,所述自转以穿过绝缘基材平面任一点且垂直于绝缘基材平面的直线为轴进行,所述公转是以自绝缘基材的几何中心沿绝缘基材平面向外延伸的线段为半径进行旋转; 3对步骤2所述带有导电层的绝缘基材进行电镀; 所述石墨烯分散液包括水、石墨烯、结合助剂和水溶性导电聚合物,所述石墨烯、结合助剂与水溶性导电聚合物的质量比为1:0.05~20:0.01~20,所述石墨烯在石墨烯分散液中的质量分数为0.05~10%,所述结合助剂在电镀处理时增强导电层与电镀金属间的共价连接,同时与经预处理的绝缘基材表面和孔结构的基团产生相互作用;所述基板与其孔结构的厚径比为0.5~20:1; 所述石墨烯分散液是采用如下方法制备的:将结合助剂和水溶性导电聚合物溶于去离子水中形成混合液,再将石墨烯加入混合液中,经物理方法处理得到石墨烯分散液;所述石墨烯分散液的pH值为3~12;所述石墨烯分散液中,石墨烯的平均层数不大于10; 所述水溶性导电聚合物选自水溶性聚苯胺、水溶性聚噻吩、聚环氧氯丙烷季胺盐中的一种或几种; 所述结合助剂选自聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯亚胺、聚乙二醇、聚丙烯酸酯、水性聚氨酯、水性环氧、聚马来酸酐、聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、聚苯乙烯磺酸、聚乙烯磺酸、聚乙烯磷酸、聚乙烯胺、聚乙烯吡啶中的一种或几种。
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