东京毅力科创株式会社今田祥友获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利气体供给环和基片处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114381717B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111146592.4，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权气体供给环和基片处理装置是由今田祥友设计研发完成，并于2021-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体供给环和基片处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有多个流路的紧凑的气体供给环和包括该气体供给环的基片处理装置。一种在基片处理装置中使用的气体供给环，具有内周面、外周面、位于内周面与外周面之间的第一面、和位于内周面与外周面之间且位于与第一面相反的一侧的第二面，外周面具有至少1个气体入口，第一面具有与至少1个气体入口连通的外侧凹部，第二面具有与外侧凹部连通的第一中间凹部和第二中间凹部，第一面还具有配置在外侧凹部的内侧的第一内侧凹部～第四内侧凹部，第一内侧凹部和第二内侧凹部与第一中间凹部连通，第三内侧凹部和第四内侧凹部与第二中间凹部连通，内周面具有多个气体出口，各气体出口与第一内侧凹部～第四内侧凹部中的任意1个连通。
本发明授权气体供给环和基片处理装置在权利要求书中公布了：1.一种在基片处理装置中使用的气体供给环，其特征在于，包括： 内周面； 外周面； 位于所述内周面与所述外周面之间的第一面； 位于所述内周面与所述外周面之间且位于与所述第一面相反的一侧的第二面， 所述外周面具有至少1个气体入口， 所述第一面具有与所述至少1个气体入口连通的外侧凹部，所述第二面具有与所述外侧凹部连通的第一中间凹部和第二中间凹部， 所述第一面还具有配置在所述外侧凹部的内侧的第一内侧凹部～第四内侧凹部， 第一内侧凹部和第二内侧凹部与所述第一中间凹部连通，第三内侧凹部和第四内侧凹部与所述第二中间凹部连通，所述内周面具有多个气体出口， 各气体出口与所述第一内侧凹部～第四内侧凹部中的任意1个连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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