昆山芯物联电子通讯有限公司程浩获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山芯物联电子通讯有限公司申请的专利一种适用于Foup的夹紧机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423237508.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种适用于Foup的夹紧机构是由程浩;廖鸿文设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于Foup的夹紧机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于Foup的夹紧机构，包括充气底盘，所述充气底盘上连接有充气口喷嘴，所述充气底盘上连接有载具底座，所述载具底座上连接有与充气口喷嘴相连通的晶圆载具，所述充气底盘上开设有第一夹紧通孔，所述载具底座上连接有第二夹紧通孔，所述第二夹紧通孔与第一夹紧通孔相对设置，所述充气底盘的底部连接有夹紧支架，所述夹紧支架的中部设有凹口，所述凹口上连接有归位检测感应器，所述夹紧支架的底部连接有夹紧气缸，所述夹紧气缸的驱动轴与固定件相连，所述固定件依次穿过第二夹紧通孔和第一夹紧通孔与充气底盘上的夹紧块相连接，所述固定件上连接有与归位检测感应器相配合的感应片。本实用新型能提升充气效果。
本实用新型一种适用于Foup的夹紧机构在权利要求书中公布了：1.一种适用于Foup的夹紧机构，包括充气底盘1，所述充气底盘1上连接有充气口喷嘴，所述充气底盘1上连接有载具底座2，所述载具底座2上连接有与充气口喷嘴相连通的晶圆载具3，其特征在于：所述充气底盘1上开设有第一夹紧通孔4，所述载具底座2上连接有第二夹紧通孔5，所述第二夹紧通孔5与第一夹紧通孔4相对设置，所述充气底盘1的底部连接有夹紧支架6，所述夹紧支架6的中部设有凹口7，所述凹口7上连接有归位检测感应器8，所述夹紧支架6的底部连接有夹紧气缸9，所述夹紧气缸9的驱动轴与固定件10相连，所述固定件10依次穿过第二夹紧通孔5和第一夹紧通孔4与载具底座2上的夹紧块相连接，所述固定件10上连接有与归位检测感应器8相配合的感应片11。
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