深圳市轴心自控技术有限公司马林生获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市轴心自控技术有限公司申请的专利一种晶圆薄膜等离子清洗翻盖保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423186885.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆薄膜等离子清洗翻盖保护装置是由马林生;张业;熊钦设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆薄膜等离子清洗翻盖保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆薄膜加工领域，公开了一种晶圆薄膜等离子清洗翻盖保护装置，包括支撑组件、治具底板、治具盖板、第一扭簧铰链、第二扭簧铰链和限位组件，所述支撑组件上安装所述治具底板，所述治具底板上分别安装第一扭簧铰链、第二扭簧铰链和限位组件，所述第一扭簧铰链和所述第二扭簧铰链平行间隔设置，所述第一扭簧铰链和所述第二扭簧铰链之间设置缓冲安装块，所述缓冲安装块与所述限位组件相对设置，所述治具盖板一端分别与所述第一扭簧铰链和所述第二扭簧铰链活动连接，所述治具盖板的另一端与所述限位组件限位连接；工作空间大大缩小，生产率高，大大提高了晶圆薄膜安全率，具有良好的市场应用价值。
本实用新型一种晶圆薄膜等离子清洗翻盖保护装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆薄膜等离子清洗翻盖保护装置，其特征在于，包括支撑组件、治具底板、治具盖板、第一扭簧铰链、第二扭簧铰链和限位组件，所述支撑组件上安装所述治具底板，所述治具底板上分别安装第一扭簧铰链、第二扭簧铰链和限位组件，所述第一扭簧铰链和所述第二扭簧铰链平行间隔设置，所述第一扭簧铰链和所述第二扭簧铰链之间设置缓冲安装块，所述缓冲安装块与所述限位组件相对设置，所述治具盖板一端分别与所述第一扭簧铰链和所述第二扭簧铰链活动连接，所述治具盖板的另一端与所述限位组件限位连接。
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