聚灿光电科技(宿迁)有限公司张振获国家专利权
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龙图腾网获悉聚灿光电科技(宿迁)有限公司申请的专利一种可调角度的旋转ICP刻蚀机械系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223712745U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423134225.4,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种可调角度的旋转ICP刻蚀机械系统是由张振;曹玉飞;赵方方;黄文光设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调角度的旋转ICP刻蚀机械系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及发光二极管技术领域,具体涉及一种可调角度的旋转ICP刻蚀机械系统,包括载片盘和载台,所述载片盘与载台之间通过连接杆连接,所述连接杆底部安装有旋转电机和角度调节电机,所述角度调节电机输出轴通过固定块与旋转电机连接,所述旋转电机输出轴与连接杆连接。本实用新型将载片盘与载台之间设置连接杆连接,连接杆通过角度调节电机和旋转电机带动,可围绕载台轴心按照设定角度、速度匀速旋转,其中连接杆角度可以通过底部角度调节电机控制精确控制,从而使LED芯片侧壁受到直下式刻蚀,形成倒梯形外观,进而提升了芯片的正面出光效率。
本实用新型一种可调角度的旋转ICP刻蚀机械系统在权利要求书中公布了:1.一种可调角度的旋转ICP刻蚀机械系统,包括载片盘和载台,其特征在于:所述载片盘与载台之间通过连接杆连接,所述连接杆底部安装有旋转电机和角度调节电机,所述角度调节电机输出轴通过固定块与旋转电机垂直方向连接,所述旋转电机输出轴与连接杆连接。
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