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龙图腾网获悉深圳市轴心自控技术有限公司申请的专利一种固晶机气路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712740U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423139167.4，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种固晶机气路系统是由唐森林;高友浪;龚勇;王奕鑫;王光;张翔设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种固晶机气路系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体固晶领域，并公开了一种固晶机气路系统，包括气源口、清洁气路、调压气路、主气路、电磁阀气路及吸嘴，电磁阀气路包括第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀，第一电磁阀和第三电磁阀分别通过气管与第二电磁阀相导通，第二电磁阀与吸嘴连接；主气路包括真空发生器和数显流量表，真空发生器和数显流量表通过气管连通，气源口与真空发生器连通，数显流量表和第三电磁阀连通；调压气路和清洁气路分别与气源口和第一电磁阀相导通，调压气路上设有第二调压阀，清洁气路上设有第一调压阀，第一调压阀与第一电磁阀之间连接有数显压力表。该方案结构简单，便于实时检测取料是否缺失晶片，并对气路进行自清洁。

本实用新型一种固晶机气路系统在权利要求书中公布了：1.一种固晶机气路系统，用于对吸嘴的取晶检测及管道清洁，其特征在于：包括气源口C1、清洁气路L1、调压气路L2、主气路L3、电磁阀气路及吸嘴C2，所述电磁阀气路包括第一电磁阀B13、第二电磁阀B15和第三电磁阀B21，所述第一电磁阀B13和所述第三电磁阀B21分别通过气管与所述第二电磁阀B15相导通，所述第二电磁阀B15与所述吸嘴C2连接； 所述主气路L3包括真空发生器B17和数显流量表B19，所述真空发生器B17和所述数显流量表B19通过气管连通，所述气源口C1与所述真空发生器B17连通，所述数显流量表B19和所述第三电磁阀B21连通； 所述调压气路L2和所述清洁气路L1分别与所述气源口C1和所述第一电磁阀B13相导通，所述调压气路L2上设有第二调压阀B11，所述清洁气路L1上设有第一调压阀B10，所述第一调压阀B10与所述第一电磁阀B13之间连接有数显压力表B12。

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