广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种快速冷却静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712738U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422329476.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种快速冷却静电卡盘是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明;兰建辉;申祥正设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速冷却静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型具体涉及快速冷却静电卡盘，包括基座以及由上至下依次设置的第一介电层、吸附电极层、第二介电层、加热器层和第三介电层，第三介电层的下表面设置于基座的上表面；吸附电极层和加热器层分别设置有吸附电极引出端和加热电极引出端；基座的外周设置有均由下至上延伸的吹气导柱以及固定插销，固定插销用于固定基座与第一介电层、第二介电层以及第三介电层；第一介电层、第二介电层以及第三介电层均为陶瓷介电层；基座的底部设置有气道以及与气道连通的气体通入孔，吹气导柱与气道连通并设有用于对基座吹气的吹气孔。静电卡盘组装方便，可实现静电卡盘及晶圆快速冷却降温，可较好对晶圆的温度进行控制。
本实用新型一种快速冷却静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种快速冷却静电卡盘，其特征在于：包括基座以及由上至下依次设置的第一介电层、吸附电极层、第二介电层、加热器层和第三介电层，所述第三介电层的下表面设置于基座的上表面；所述吸附电极层和加热器层分别设置有吸附电极引出端和加热电极引出端； 所述基座的外周设置有均由下至上延伸的吹气导柱以及固定插销；所述第一介电层、第二介电层以及第三介电层均为陶瓷介电层；所述基座的底部设置有气道以及与气道连通的气体通入孔，所述吹气导柱与气道连通并设有用于对基座进行吹气的吹气孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东精瓷新材料有限公司，其通讯地址为：517000 广东省河源市高新区滨江路西边、高新五路南边(广东河米科技有限公司)厂房1栋一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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