北京金竟科技有限责任公司何超获国家专利权
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龙图腾网获悉北京金竟科技有限责任公司申请的专利一种真空传送设备及真空传送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423292424.8，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种真空传送设备及真空传送系统是由何超;王贺设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空传送设备及真空传送系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种真空传送设备及真空传送系统，真空传送设备包括交换仓真空泵组和主腔室真空泵组，主腔室真空泵组连接真空传送系统的主腔室，交换仓真空泵组连接真空传送系统的交换仓，交换仓通过隔离阀与主腔室连接，且主腔室的容积大于交换仓的容积；主腔室真空泵组用于降低主腔室的气压；交换仓真空泵组用于降低交换仓的气压；隔离阀打开时，允许交换仓中的传送装置将样品传送至主腔室。本申请实施例提供的真空传送设备在每次传送样品时，主腔室的气压仅会被小幅度地改变，可以减小每次传送时对主腔室进行抽真空的时间，且通过较少的气体交换，也降低了气体作为温度载体对主腔室内设备的影响，从而可以提高真空传送的稳定性和传送效率。
本实用新型一种真空传送设备及真空传送系统在权利要求书中公布了：1.一种真空传送设备，其特征在于，包括交换仓真空泵组和主腔室真空泵组，所述主腔室真空泵组连接真空传送系统的主腔室，所述交换仓真空泵组连接真空传送系统的交换仓，所述交换仓通过隔离阀与所述主腔室连接，且所述主腔室的容积大于所述交换仓的容积； 所述主腔室真空泵组用于降低所述主腔室的气压； 所述交换仓真空泵组用于降低所述交换仓的气压； 所述隔离阀打开时，允许所述交换仓中的传送装置将样品传送至所述主腔室。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京金竟科技有限责任公司，其通讯地址为：100096 北京市海淀区西三旗建材城内建中路金隅智造工场0号1层138；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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