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安徽安美半导体有限公司汪良恩获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽安美半导体有限公司申请的专利用于晶圆清洗的物料框获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223712728U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423297737.2,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型用于晶圆清洗的物料框是由汪良恩;杨华;朱京江;陆安设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

用于晶圆清洗的物料框在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于晶圆清洗的物料框,涉及晶圆清洗技术领域,用于晶圆片的清洗,包括置物框,所述置物框的开口端设置有多个摆料结构;所述置物框内放置有多个晶圆片,每片所述晶圆片均通过对应摆料结构内的限位槽与置物框插接;所述置物框的底部开设有多个贯通设置的套孔;清洗时,置物框位于超声波清洗机内,并通过多个套孔套设在超声波清洗机内对应的空气探头上,空气探头穿过对应的套孔位于置物框内,通过设置置物框,并在置物框上设置多个摆料结构用于对多个待清洗的晶圆片进行限位,且利用套孔实现空气探头穿过置物框并位于置物框的内部,能够加强置物框内部超声波清洗的效果,实现高效清洗。

本实用新型用于晶圆清洗的物料框在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆清洗的物料框,其特征在于,用于晶圆片3的清洗,包括置物框2,所述置物框2的开口端设置有多个摆料结构20; 所述置物框2内放置有多个晶圆片3,每片所述晶圆片3均通过对应摆料结构20内的限位槽21与置物框2插接; 所述置物框2的底部开设有多个贯通设置的套孔24; 清洗时,置物框2位于超声波清洗机内,并通过多个套孔24套设在超声波清洗机内对应的空气探头上,空气探头穿过对应的套孔24位于置物框2内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽安美半导体有限公司,其通讯地址为:247099 安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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