郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种晶圆匣转换底座获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712724U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423132193.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆匣转换底座是由吴泓明;张理想;孙楠;钟佑生;黄郁璿;王天培设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆匣转换底座在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆匣转换底座，用于支撑开放式晶圆匣，所述转换底座包括支撑斜面，用于倾斜支撑晶圆匣，进而使晶圆倾斜放置；所述支撑斜面的上表面设有两个沿倾斜方向延伸的限位条以及位于两个所述限位条之间的缓冲块；2个所述限位条用于对所述支撑条进行限位；在两个所述限位条以及所述缓冲块的高度较低的一端设有挡板，用于对所述第一底面进行限位；所述缓冲块的硬度小于所述晶圆匣。本申请提供的转换底座，在晶圆转移时可有效防止晶圆出现损伤，且该转换底座结构简单，操作方便，适宜规模化应用。
本实用新型一种晶圆匣转换底座在权利要求书中公布了：1.一种晶圆匣转换底座，用于支撑开放式晶圆匣，所述开放式晶圆匣包括第一底面、第二底面以及侧面；所述侧面包括依次相邻的上侧、前侧、下侧和后侧；其中所述上侧完全开口，用于晶圆出入；所述下侧除了设有两个支撑条，其余也呈开口状态，在所述支撑条上设有插槽，用于支撑晶圆；其特征在于，所述转换底座包括支撑斜面，用于倾斜支撑晶圆匣，进而使晶圆倾斜放置； 所述支撑斜面的上表面设有两个沿倾斜方向延伸的限位条以及位于两个所述限位条之间的缓冲块；2个所述限位条用于对所述支撑条进行限位； 在两个所述限位条以及所述缓冲块的高度较低的一端设有挡板，用于对所述第一底面进行限位； 所述缓冲块的硬度小于所述晶圆匣。
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