香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种多级过滤晶圆槽装置及湿法设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712722U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202522195013.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种多级过滤晶圆槽装置及湿法设备是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多级过滤晶圆槽装置及湿法设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种多级过滤晶圆槽装置及湿法设备，涉及半导体加工技术领域，其中多级过滤晶圆槽装置包括槽本体以及循环过滤组件；循环过滤组件包括循环管路、第一过滤器、第二过滤器以及动力泵；第一过滤器、第二过滤器以及动力泵安装于循环管路；第一过滤器内设有沉积腔以及与沉积腔连通的浮游腔；第一过滤器的第一过滤进口连通沉积腔，且其高度低于沉积腔与浮游腔之间的连通位置的高度；第一过滤器的第一过滤出口连通浮游腔，且其高度低于沉积腔与浮游腔之间的连通位置的高度。多级过滤的设计使得第一过滤器主要负责处理大颗粒沉积物和部分浮游物，而第二过滤器则专注于更细微的杂质，提高了整体过滤效率及使用寿命。
本实用新型一种多级过滤晶圆槽装置及湿法设备在权利要求书中公布了：1.一种多级过滤晶圆槽装置，其特征在于，包括槽本体1以及循环过滤组件； 所述循环过滤组件包括循环管路2、第一过滤器3、第二过滤器4以及动力泵5； 所述循环管路2的输入端及输出端分别与所述槽本体1导通； 所述第一过滤器3、所述第二过滤器4以及所述动力泵5安装于所述循环管路2； 所述第一过滤器3与所述第二过滤器4沿所述循环管路2的输入端向输出端方向依次设置； 所述第一过滤器3内设有沉积腔311以及与所述沉积腔311连通的浮游腔312； 所述第一过滤器3的第一过滤进口连通所述沉积腔311，且其高度低于所述沉积腔311与所述浮游腔312之间的连通位置的高度； 所述第一过滤器3的第一过滤出口连通所述浮游腔312，且其高度低于所述沉积腔311与所述浮游腔312之间的连通位置的高度。
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