芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司冉隆慧获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利晶圆退火装置及半导体热处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712721U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520284950.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆退火装置及半导体热处理设备是由冉隆慧设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆退火装置及半导体热处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆退火装置及半导体热处理设备。包括：退火腔室，具有容纳空间；晶圆置放台，位于容纳空间内；加热组件，位于容纳空间内，且对应晶圆置放台设置，以加热晶圆置放台上的晶圆；晶圆置放台和加热组件中的至少一个能沿预设轨迹运动，以更全面的加热晶圆；加热组件包括加热件和固定加热件的固定架；惰性气体吹扫组件，包括气体供应件和与气体供应件连通的气体流道；气体流道开设于固定架，从气体流道流出的气体流向晶圆置放台。本申请的技术方案，能减少晶圆表面污染。
本实用新型晶圆退火装置及半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆退火装置，其特征在于，包括： 退火腔室，具有容纳空间； 晶圆置放台，位于所述容纳空间内； 加热组件，位于所述容纳空间内，且对应所述晶圆置放台设置，以加热所述晶圆置放台上的晶圆；所述晶圆置放台和所述加热组件中的至少一个能沿预设轨迹运动，以更全面的加热所述晶圆；所述加热组件包括加热件和固定所述加热件的固定架； 惰性气体吹扫组件，包括气体供应件和与所述气体供应件连通的气体流道；所述气体流道开设于所述固定架，从所述气体流道流出的气体流向所述晶圆置放台。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-17；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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